Designmerkmale

Ausgezeichnete Hitzebeständigkeit

Aluminiumoxid-Keramik kann bei Temperaturen von bis zu 1650 ° C stabil betrieben werden, was für die in Halbleitern üblichen Hochtemperaturumgebungen von entscheidender Bedeutung ist 

Herstellung.

Hohe Abriebfestigkeit und chemische Stabilität

Dieses Material weist eine extrem hohe Beständigkeit gegen mechanischen Abrieb und chemische Korrosion auf und gewährleistet eine lange Lebensdauer und Stabilität.

Nicht leitende Eigenschaften

Die nichtleitende Beschaffenheit von Aluminiumoxid sorgt dafür, dass beim Umgang mit empfindlichen elektronischen Bauteilen keine elektrostatischen Störungen entstehen, was 

Unverzichtbar, um Schäden an winzigen Stromkreisen zu vermeiden.

Optimierte Geometrie

Mehrere Befestigungslöcher und zwei längliche Griffe ermöglichen eine einfache Montage oder Verbindung mit anderen mechanischen Geräten unter Beibehaltung der hohen Präzision 

Betrieb.

Oberfläche

Die glatte Oberfläche verringert die Reibung und verbessert die Genauigkeit und Zuverlässigkeit bei der Verarbeitung.

Anwendungsbereiche

Aluminiumoxid-Keramikarme finden breite Anwendung in der Halbleiterherstellung, vor allem in folgenden Bereichen:

Handhabung von Silizium-Wafern

Präzises Handling und Positionieren von Siliziumwafern unter extremen Bedingungen, um hohe Effizienz und Genauigkeit im Herstellungsprozess zu gewährleisten.

Umgang mit empfindlichen elektronischen Bauteilen

Betrieb ohne statische Elektrizität, Schutz der Integrität und Funktionalität elektronischer Komponenten.

Betrieb in Hochtemperatur- und korrosiven Umgebungen

Ihre Stabilität in chemischen Gasen und Hochtemperaturumgebungen macht sie für spezielle Prozesse wie Ätzen und Reinigen sehr nützlich.