デザインの特徴

高精度なマイクロホール加工能力

フェムト秒レーザーの超短パルス加工技術を利用して、ミクロンレベルの精密な穴加工を実現し、微細な穴構造に適しています。 

0.15 mm以上で、高精度な機能設計の要件を満たしています。

優れた穴の形状の品質と丸み

レーザー加工中の極めて小さい熱拡散範囲は、穴壁の粗さや穴径の偏差などの問題を効果的に低減します。 

優秀な穴の円形および一貫性を達成すること。

低熱影響ゾーン加工

フェムト秒レーザーは「冷間加工」技術であり、熱割れ、エッジチッピング、および材料特性の変化を減らすことができます。 

窒化アルミニウムセラミック加工により、部品の信頼性が向上します。

高性能セラミック材料に適しています

従来の加工方法は、窒化アルミニウムセラミックスの高い硬度と脆さのために困難でしたが、フェムト秒レーザーは 

複雑な微細構造の機械化を達成できます。

高い次元の精密制御

高い加工精度は、精密電子部品、マイクロ流体構造、および機能性セラミック部品の厳しい寸法要件を満たすことができます。

アプリケーション領域

半導体の製造装置

精密セラミック位置決め部品

真空装置のマイクロポーラス部品

半導体過程の構造コンポーネント

電子パッケージングおよびパワーデバイス

窒化アルミニウム放熱基板

高出力モジュール用セラミック部品

マイクロポーラス絶縁構造

マイクロ流体工学と精密ジェッティングシステム

マイクロオリフィスノズル

精密流体制御パネル

マイクロチャネル構造

オプトエレクトロニクスおよびレーザー装置

セラミック部品の精密位置決め

光学機器のサポートアセンブリ

高い安定性を持つ絶縁部品