Características de diseño
Alta conductividad térmica y excelente rendimiento de disipación de calor:
Con una conductividad térmica superior a 170 W / m · K, superando con creces a la alúmina, puede disipar rápidamente el calor, lo que lo hace adecuado para
Operaciones sensibles al calor, como el procesamiento láser y el embalaje de chips.
Excelente aislamiento eléctrico:
Mantiene buenas propiedades de aislamiento incluso a altas temperaturas, evitando fugas y haciéndolo adecuado para alto voltaje.
Entornos y plataformas de portadores electrónicos.
Alta resistencia y resistencia a las grietas:
En comparación con la cerámica de alúmina, el nitruro de aluminio tiene una mayor resistencia a la flexión y al choque térmico, resistiendo la mecánica
Estrés y choque térmico.
Buena estabilidad química:
Resistente a la corrosión ácida y alcalina, no reacciona a con los materiales procesados, lo que lo hace adecuado para salas limpias o de alta pureza.
Entornos.
Estructura personalizable:
La superficie se puede procesar con matrices de microporos, tanques de vacío, ranuras de posicionamiento, orificios pasantes, etc., según el proceso
Requisitos.
Estabilidad de adsorción al vacío a alta temperatura:
Incluso en funcionamiento continuo en entornos de alta temperatura, su rendimiento de adsorción permanece estable y no es
Se deforma o se agrieta fácilmente debido a la expansión térmica.
Áreas de aplicación
Fabricación de semiconductores:
Plataformas de adsorción al vacío utilizadas en el transporte de obleas, fotolitografía y procesos de inspección para garantizar la posición
Precisión y estabilidad térmica.
Equipo De Procesamiento Láser:
Estabiliza y adsorbe las piezas procesadas por láser, proporcionando una conducción rápida del calor para evitar el sobrecalentamiento y la deformación del material.
Equipo CNC de precisión:
Se utiliza en mecanizado CNC / micro / nano para sujetar piezas de trabajo delgadas y quebradizas como láminas de cerámica y vidrio.
LED y Optoelectrónica
Industria: Se utiliza para la fijación y el enfriamiento durante el procesamiento de zafiro y sustratos cerámicos.
