Caractéristiques de conception
Conductivité thermique élevée et excellentes performances de dissipation thermique :
Avec une conductivité thermique supérieure à 170 W / m · K, dépassant de loin l'alumine, il peut dissiper rapidement la chaleur, ce qui le rend adapté pour
Opérations sensibles à la chaleur telles que le traitement au laser et l'emballage des puces.
Excellente isolation électrique :
Maintient de bonnes propriétés d'isolation même à des températures élevées, empêchant les fuites et le rendant adapté à la haute tension
environnements et plates-formes électroniques.
Haute résistance et résistance aux fissures :
Comparé aux céramiques d'alumine, le nitrure d'aluminium a une résistance à la flexion et aux chocs thermiques plus élevées, résistant aux chocs mécaniques
stress et choc thermique.
Bonne stabilité chimique :
Résistant à la corrosion acide et alcaline, il ne réagit pas avec les matériaux transformés, ce qui le rend adapté aux salles blanches ou de haute pureté.
environnements.
Structure personnalisable :
La surface peut être traitée avec des réseaux de micropores, des réservoirs à vide, des rainures de positionnement, des trous traversants, etc., selon le processus
exigences.
Stabilité d'adsorption sous vide à haute température :
Même en fonctionnement continu dans des environnements à haute température, ses performances d'adsorption restent stables, et ce n'est pas le cas.
facilement déformé ou fissuré en raison de la dilatation thermique.
Domaines d'application
Fabrication de semi-conducteurs :
Plates-formes d'adsorption sous vide utilisées dans les processus de transport de plaquettes, de photolithographie et d'inspection pour garantir la position
Précision et stabilité thermique.
Équipement de traitement laser :
Stabilise et adsorbe les pièces traitées au laser, offrant une conduction thermique rapide pour éviter la surchauffe et la déformation du matériau.
Équipement CNC de précision :
Utilisé dans l'usinage CNC / micro / nano pour serrer des pièces fragiles et minces telles que des feuilles de céramique et de verre.
LED et optoélectronique
Industrie : Utilisé pour la fixation et le refroidissement pendant le traitement des substrats en saphir et en céramique.
