Особенности дизайна
Высокая термальная проводимость и превосходное представление тепловыделения:
С теплопроводностью, превышающей 170 Вт / м · К, намного превосходящей оксид алюминия, он может быстро рассеивать тепло, что делает его пригодным для
теплочувствительные операции, такие как лазерная обработка и упаковка чипов.
Отличная электрическая изоляция:
Сохраняет хорошие изоляционные свойства даже при высоких температурах, предотвращая утечку и делая его подходящим для высоковольтного
среды и платформы электронных носителей.
Высокая прочность и трещиностойкость:
По сравнению с глиноземистой керамикой нитрид алюминия имеет более высокую прочность на изгиб и сопротивление тепловому удару, сопротивляясь механическому
стресс и тепловой шок.
Хорошая химическая стабильность:
Устойчив к кислотной и щелочной коррозии, не реагирует с обработанными материалами, что делает его пригодным для чистых помещений или высокочистых
среды.
Настраиваемая структура:
Поверхность может быть обработана массивами микропор, вакуумными резервуарами, позиционирующими канавками, сквозными отверстиями и т. Д. В соответствии с процессом
требования.
Стабильность высокотемпературной вакуумной адсорбции:
Даже при непрерывной работе в высокотемпературных средах его адсорбционные характеристики остаются стабильными, и он не
легко деформируется или трескается из-за теплового расширения.
Области применения
Производство полупроводников:
Вакуумные адсорбционные платформы, используемые в процессах транспортировки пластин, фотолитографии и контроля для обеспечения позиционного
точность и термическая стабильность.
Оборудование для лазерной обработки:
Стабилизирует и адсорбирует детали, обработанные лазером, обеспечивая быструю теплопроводность для предотвращения перегрева и деформации материала.
Прецизионное оборудование с ЧПУ:
Используется при обработке с ЧПУ / микро / нано для зажима хрупких тонких деталей, таких как керамические и стеклянные листы.
LED и оптоэлектроника
Промышленность: Используется для фиксации и охлаждения при обработке сапфировых и керамических подложек.
